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ICP光譜儀又叫電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀，由于具有高靈敏度，高精密度，低基體效應和具有同時多元素分析能力等一系列特點，自1975年出現商品儀器以來，很快在各分析領域得到廣泛應用，成為材料、環(huán)境、地礦、冶金、食品、化工、生化、商品檢驗及科研領域最通用的無機元素分析工具。ICP光譜儀的結構和技術也在不斷的改進和發(fā)展。1991年新的中階梯光柵固態(tài)檢測器ICP-OES儀器問世，即國內所說的全譜直讀電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀。1993年國外生產的該類儀器進入中國市場，目前國內還沒有制造商將全譜直讀電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀產業(yè)化。

ICP光譜儀是根據試樣中被測元素的原子或離子，在光源中被激發(fā)而產生特征輻射，通過判斷這種特征輻射波長及其強度的大小，對各元素進行定性分析和定量分析的儀器。